上海微电子装备（集团）股份有限公司

      2016年6月1日-7日，国家“十二五”科技创新成就展将在北京展览馆举行。我司作为02重大专项的主要承担单位将在本次展会上展出半导体产业的核心关键设备——高端步进投影扫描光刻机。我司希望通过光刻机实物模型与视频介绍向观展人员展示我司在“十二五”期间在光刻机关键技术创新、产业化应用等方面取得的初步成果。