上海微电子装备（集团）股份有限公司

    上海微电子装备有限公司首届技术论坛于2010年12月23日至24日隆重举行。本届技术论坛共收到各类技术论文数十篇，与会者就系统技术、光电测量、光学设计与制造、减振与精密运动等技术进行了深入交流，取得了良好效果。